
晶圆切割废水处理
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今天漓源环保给大家介绍一下晶圆切割废水处理,晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片),由于是晶体材料,其形状为圆形,所以称为晶圆,衬底材料有硅等。
由于硅为常用,如果没有特别指明晶体材料,通常指硅晶圆,在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品,晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅,二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅,其纯度高达99.999999999%。
在晶圆切割废水处理工程中晶圆在研磨生产过后,需要使用大量的水对晶圆表面残留的悬浮颗粒物进行冲洗,而冲洗后产生的废水就被直接排放出去了,废水含有的较多杂质未能及时进行过滤处理,统一排放对环境造成了污染,同时冲洗水的大量使用也造成了水资源的浪费,因此针对以上问题,需要可靠的晶圆切割废水处理工艺。
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